EUV-Lithografie

TSMC, Samsung und Intel setzen auf ASMLs EUV-Technologie der nächsten Generation

ASML Holding, der weltweit einzige Lieferant von Lithografiesystemen für extrem ultraviolette Strahlung (EUV), hat sich Zusagen der drei führenden Chiphersteller gesichert, seine High-NA-EUV-Ausrüstung einzusetzen. Dies markiert eine koordinierte Brancheninitiative, um der rasant steigenden Nachfrage nach KI-Prozessoren gerecht zu werden.